导师姓名

肖清华

性别

男

出生年月

1972年9月

所在室所

集成电路关键材料国家工程研究中心

技术职称

教授级高级工程师

招生专业

材料科学与工程

联系电话

010-82087080

E-mail

Xiaoqinghua@gritek.com

研究方向

1.硅及硅基材料

个人简况

西安地质学院地质矿床勘查专业工学学士（1993年），中国地质大学矿物学岩石学矿床学理学硕士学位（2000年），北京有色金属研究总院材料学工学博士（2005年）。2005年到北京有色金属研究总院工作后历任工程师（2005年4月~2006年11月）、高级工程师（2006年11月~2011年12月），教授级高级工程师（2011年12月~）。

多年从事半导体硅材料及硅基材料的制备技术和半导体杂质与缺陷行为研究，研究课题主要有大尺寸硅单晶生长数值模拟、大尺寸硅片的精密加工、半导体材料中的杂质和缺陷及其热演化特性、锗硅材料的制备、半导体材料的检测技术，先后承担和参与完成了国家863重大专项、国家科技重大专项、国际科技合作研究计划、国家自然科学基金及省部级科研课题10余项，取得了重要研究成果。曾获省部级科学技术奖2项，在Appl Phys Lett等国内外期刊上发表论文40余篇。

Update 2020.02