导师姓名

张果虎

性别

男

出生年月

1967年12月

所在室所

集成电路关键材料国家工程研究中心

技术职称

教授级高级工程师

招生专业

材料科学与工程

联系电话

010-82087080

E-mail

zhangguohu@gritek.com

研究方向

1.大直径硅单晶制备技术研究

2.大尺寸硅片加工技术研究

个人简况

1990年毕业于中南工业大学应用物理专业，获学士学位。2004年毕业于中国人民大学获工商管理硕士学位，正高级工程师，国务院特殊津贴专家。研究课题主要围绕：1）大直径单晶性能研究、工艺研究、热场设计、缺陷控制；2）大尺寸硅片的损伤控制、精密加工、洁净技术技术研究。

长期从事半导体硅材料及工程化技术研究。先后参与和承担了国家“八五”、“九五”、“十五”、“908”、“909”和“国家示范工程”等国家重大攻关课题，研制成功了国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸和16英寸硅单晶。参与成功建设具有自主知识产权的国内第一条6、8英寸硅单晶抛光片生产线。

建立了我国第一条300mm硅材料生产线，开发出全球领先的450mm硅单晶生长技术。主持国家科技重大专项“200mm硅片产品技术开发与产业化能力提升”项目，率先实现200mm硅片在国内的产业化。建立我国首个300mm硅材料设备研制平台，推进了半导体硅材料用装备（300mm单晶炉等）和原辅材料（石英坩埚、化学试剂等）的国产化应用。

荣获十余项国家及部级科研成果奖励。授权专利30余项，其中参与发明创造的“一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置”获2008年第十届中国专利金奖。发表论文30余篇。2009年评选为有色金属行业劳动模范。

Update 2020.02