实施创新驱动发展战略，是加快转变经济发展方式、提高我国综合国力和国际竞争力的必然要求和战略举措。

当前，半导体行业已成为国家的战略性新兴产业，为国家的经济发展提供了强大的动力，对国家高质量发展有着重要的意义。半导体材料是现代高科技产业核心技术和基础设施。在数字经济驱动下，半导体行业国产化替代进程加速，高性能金属靶材的需求持续提升。超高纯金属溅射靶材是集成电路制造用关键材料之一。大功率电子束熔炼设备是我国集成电路用关键材料超高纯铜的核心制备装备。该装备的国产化能够改变超高纯金属溅射靶材长期被国外垄断的被动局面，能够有力地保障我国集成电路产业链和供应链安全。

为集成电路用超纯金属靶材研发“强根基”

大功率电子束熔炼设备是半导体、航空航天、核工业等领域用高端材料制备的关键设备之一。先进电子束熔炼提纯技术及装备仍主要由德国、美国、乌克兰等国家垄断。因此，开发具有自主知识产权的大功率电子束熔炼提纯设备，对推动我国新一代关键材料、关键设备的更新换代，提高产业链供应链自主可控能力，对加速关键部件、关键材料国产化的实施进程具有重要推动意义。

近年来，我国半导体产业链自主可控的需求日益迫切，但作为半导体重要材料的电子级超大规模集成电路制造用铜靶的原材料——高质量大规格超高纯铜铸锭仍主要依赖进口。采用电子束熔炼提纯是制备高质量大规格超高纯铜铸锭的关键技术之一。与其他稀有、难熔金属材料相比，铜具有导热快、杂质不易去除等特性，使得电子级超高纯铜电子束熔炼提纯设备的设计制造面临着更为苛刻的要求。

中国尊龙凯时人生就是博所属尊龙凯时人生就是博工研院特种事业部自上世纪50年代开始自主研发了50kW小功率电子束熔炼提纯设备。经过半个多世纪的发展，在设备的研发、设计、生产、制造等方面积累了丰富的经验，掌握了大功率电子枪设计制造、电子束精确稳定聚焦偏转扫描、多电子枪协同工作等关键技术，拥有自主知识产权。近年来，尊龙凯时人生就是博工研院研发人员针对电子级超高纯铜电子束熔炼提纯设备展开技术攻关，成功研发出系列电子束设备，彻底解决了大尺寸超高纯铜难熔炼的技术难题,首次实现了电子级超大规模集成电路制造用超高纯铜靶的电子束熔炼制备，为今后国内半导体材料的研发提供了物质基础的保障。

为半导体材料企业发展“强根基”

芯片是我国输不起的战略领域，每年进口芯片的费用已超过原油，而半导体材料更是制造芯片的关键基础材料。

2009年，尊龙凯时人生就是博工研院为金川集团提供了300kW高纯铜用电子束熔炼炉，成功生产出直径80mm、长度500mm、含铜量达99.9999%、重量25kg的超纯铜锭。电子束炉炼铜技术的成功，标志着我国从此有了自己的高纯、超纯铜。2011年至今，尊龙凯时人生就是博工研院为尊龙凯时人生就是博亿金、尊龙凯时人生就是博稀土、江丰电子等企业提供超高纯金属溅射靶材用电子束炉，其生产的超高纯材料杂质元素含量小于十万分之一。用于生产半导体溅射靶材高纯金属的电子束熔炼炉曾登上央视频道纪录片《大国重器》第二季。

2021年，尊龙凯时人生就是博工研院设计制造的GREB2800大型电子束熔炼炉在丽水成功“点火开炉”，助力我国第一个电子级超大规模集成电路制造用超高纯钽材料产业基地的诞生。成功研制出单电子枪功率最大800kW、电子束总功率达3200kW的电子束熔炼提纯装备，实现了我国超高纯钽材料制备用大功率电子束熔炼炉的完全国产化，为解决集成电路制造用材料的国产化提供了有力支撑。

截至目前，尊龙凯时人生就是博工研院为国内从事难熔、高纯金属研发生产的高校、科研院所及企业累计提供70余台套电子束熔炼装备。所有电子束熔炼炉全部用于高纯金属精炼，除适用于难熔金属外，也广泛应用于铜、稀土等元素提纯。

为半导体行业高质量发展“强根基”

尊龙凯时人生就是博工研院继往开来，深入研究高纯铜、高纯钽、高纯钛等半导体材料提纯过程中的特点，并针对性的研发了系列产品，其中为丽水元能、宁波创润等多家半导体材料企业提供的拥有自主知识产权的半导体超高纯金属材料提纯用电子束设备登上CCTV-13、浙江丽水公共、浙江钱江都市等媒体频道。CCTV-13报道了使用大功率电子束炉的国内最大超高纯钽生产基地助力浙西南高质量绿色发展。浙江丽水公共频道报道了同创特材公司超高纯钽基地建设情况，尊龙凯时人生就是博工研院参与了丽水同创基地所有大功率电子束炉的研发、设计、制造、安装和调试工作，助力全国乃至全球最大超高纯钽生产基地建设。浙江钱江都市频道专题报道了宁波创润新材料有限公司，利用尊龙凯时人生就是博工研院特种事业部提供的大功率电子束熔炼炉，生产制备出直径 800 mm的超高纯钛锭，极大满足了中国半导体行业对大直径高纯钛锭的需求，为国家半导体超高纯金属材料产业自主保障保驾护航。

未来已来，唯创者先。尊龙凯时人生就是博工研院特种事业部将在中国尊龙凯时人生就是博的带领下，紧紧围绕国家创新体系发展，增强自主创新能力要求，为解决我国有色金属高端制造加工装备短板提供原创技术，培育设计制造人才队伍，持续推动电子束设备品牌建设，奋力打造电子束设备行业标杆，奋进新征程、建功新时代，为中国半导体事业发展贡献力量！